1、電擊穿：固體介質的電擊穿理論是在氣體放電的碰撞電離理論基礎上建立的。固體物理學基礎上用量子力學為工具，逐步發展建立了固體介質電擊穿的碰撞電離理論，其主要內容為：在強電場下固體導帶中可能因冷發射或熱發射而存在一些電子，這些電子一面在外電場作用下被加速獲得動能，一面與晶格振動相互作用而加劇晶格振動，把電場的能量傳遞給晶格，當這兩方面在一定溫度和場強下平衡時，固體介質有穩定的電導，但當電子從電場中得到的能量大于損失給晶格振動的能量時，電子的動能就越來越大，直至電子與晶格的相互作用增強到能電離產生新電子，自由電子數訊速增加，導致電擊穿開始發生。

2、熱擊穿:絕緣材料在電場下工作時由于各種形式的損耗，部分電能轉變成熱能，使介質被加熱。若外加電壓足夠高 ，將出現器件內部產生的熱量大于器件散發出去的熱量的不平衡狀態，熱量就在器件內部積聚，事器件溫度升高升溫的結果又進一步增大損耗，使發熱量進一步增多。這樣惡性循環的結果使器件溫度不斷上升，當溫度超過一定限度時介質會出現燒裂、熔融等現象而喪失絕緣能力，這就是介質的熱擊穿。

3、化學擊穿：長期運行在高溫、潮濕、高電壓或腐蝕性氣體環境下的絕緣材料往往會發生化學擊穿。化學擊穿和材料內部的電解、腐蝕、氧化、還原、氣孔中氣體電離等一系列不可逆變化有很大的關系，并且需要相當長時間，材料被"老化"逐漸喪失絕緣，最后導致被擊穿而破壞。

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